铜互连的终结?半导体行业迈向新材料时代 2025年8月,半导体工程领域的权威媒体《Semiconductor Engineering》发表文章,探讨了铜互连技术在先进制程节点(10纳米以下)面临的瓶颈以及钌(Ruthenium)等新材料崛起的趋势。 近三十年来,铜一直是芯片互连的首选材料,因其高导电 行业 半导体 材料 imec 平均自由程 2025-09-07 16:58 6